高端电子工艺装备

【1】集成电路装备

财产介绍:电控公司的集成电路装备以七星电子(ag亚洲真人游戏微)(A股代码:002371)为载体,借助上市平台和国家重大科技专项加快财产ag亚洲真人游戏,产品以集成电路设备为主,并结合市场需求向光伏、先进封装、LED、MEMS、光波导、功率器件和化合物半导体等应用领域拓展。七星电子(ag亚洲真人游戏微)先后承当11项国家重大科技02专项,技术水平快速提升,填补了国内12英寸高端刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、清洗机等设备技术空白,阵势部产品实现了28nm的财产化认证,刻蚀机、PVD已开始14nm技术的研发。 

12英寸28nm刻蚀机、PVD、氧化炉等设备均已进入了国内知名集成电路制造企业大生产线,多款产品已成为LED、先进封装、MEMS等泛半导体领的主流产品,市场ag亚洲真人游戏工作效果显著。其中12英寸、28nmHardMask PVD设备及12英寸55nm硅刻蚀设备已作为中芯国际的Baseline设备。

重要产品:刻蚀设备(Etch)、化学气相沉积设备(CVD)、物理气相沉积设备(PVD)立式炉、LPCVD、超精细清洗机、ALD设备。 

 

【2】锂电装备

ag亚洲真人游戏可提供全套的锂离子电池极片生产所需的搅拌、涂布、辊压、分切设备。

 

胜利研制大容量的(400L、600L、800L、1000L、2000L)搅拌设备,已掌握自动上料技术、搅拌过程顺序化控制、搅拌料评价等技术;胜利开发出了挤出式涂布设备,涂布速度10-20m/min(最高抵达30m/min)。胜利开发出了液压伺服辊压设备,极片轧制速度抵达20-30m/min(最高抵达60m/min),掌握了极片热轧技术、辊电镀技术、AGC液压伺服控制型等核心技术。

 

分切设备可分切卷材宽度达700mm,生产效率抵达50m/min(最高水平抵达80m/min),并开发了设备CCD测控系统降低了产品废品率。于此同时,胜利的搭建了20000Ah锂离子动力电池中试线,为自产设备提供了工艺验证平台,具备提供整线解决计划的能力。